ເທກໂນໂລຍີການລະບາຍອາຍທາງກາຍ (Physical Vapor Deposition, PVD) ຫມາຍເຖິງການໃຊ້ວິທີການທາງກາຍະພາບພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດເພື່ອ vaporize ພື້ນຜິວຂອງແຫຼ່ງວັດສະດຸ (ຂອງແຂງຫຼືຂອງແຫຼວ) ເຂົ້າໄປໃນອະຕອມຫຼືໂມເລກຸນຂອງອາຍແກັສ, ຫຼືບາງສ່ວນ ionize ເປັນ ions, ແລະຜ່ານອາຍແກັສຄວາມກົດດັນຕ່ໍາ (ຫຼື plasma). ຂະບວນການ, ເທກໂນໂລຍີສໍາລັບການຝາກຮູບເງົາບາງໆທີ່ມີຫນ້າທີ່ພິເສດຢູ່ເທິງພື້ນຜິວຂອງ substrate, ແລະການປ່ອຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບແມ່ນຫນຶ່ງໃນເຕັກໂນໂລຢີການປິ່ນປົວພື້ນຜິວຕົ້ນຕໍ. ເຕັກໂນໂລຍີການເຄືອບ PVD (ການປ່ອຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ) ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນແບ່ງອອກເປັນສາມປະເພດຄື: ການເຄືອບ vacuum evaporation, ການເຄືອບ vacuum sputtering ແລະ vacuum ion coating.
ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນການລະເຫີຍຄວາມຮ້ອນແລະການເຄືອບ sputtering. ຜະລິດຕະພັນທີ່ນໍາໃຊ້ໃນການລະບາຍອາຍຂອງໄອປະກອບມີສາຍ tungsten, ເຮືອ tungsten, ເຮືອ molybdenum, ແລະເຮືອ tantalum ຜະລິດຕະພັນທີ່ໃຊ້ໃນການເຄືອບ beam ເອເລັກໂຕຣນິກແມ່ນສາຍ tungsten cathode, crucible ທອງແດງ, tungsten crucible, ແລະ molybdenum ພາກສ່ວນການປຸງແຕ່ງ ຜະລິດຕະພັນທີ່ໃຊ້ໃນການເຄືອບ sputtertanium ເປົ້າຫມາຍ, ເປົ້າໝາຍ titanium-Aluminium.
